針對不同使用環(huán)境的 化學(xué)過濾器 在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，不僅微小的顆粒甚至是極其微量的化學(xué)污染也會降低產(chǎn)品的合格率。 因此，半導(dǎo)企業(yè)通過安裝高效率的化學(xué)過濾器，實(shí)現(xiàn)潔凈的生產(chǎn)環(huán)境。 我司生產(chǎn)的，能夠有效地去除半導(dǎo)體工廠中的AMCs物質(zhì)。
AMCs？ AMCsAirbome molecular contamination ） 是半導(dǎo)體生產(chǎn)當(dāng)中各種化學(xué)污染物質(zhì)的統(tǒng)稱（有機(jī)，堿性，酸性氣體）。 特點(diǎn)： 1．去除效率高達(dá)90%以上 2．使用壽命長 3．精良的制造技術(shù)，安裝方便 4．一條龍服務(wù)（從附著劑加添，產(chǎn)品組裝到安裝） 5．可以按照客戶的要求設(shè)計過濾器
適用范圍： 1．半導(dǎo)體，LCD等超精密制造工藝 2．惡臭以及有害氣體容易產(chǎn)生的地方 3．醫(yī)院，博物館公共場所等對空氣環(huán)境要求高的場所
主要產(chǎn)品： 1．● CAFILDEX® PL系列 
| 規(guī)格 | CAFILDEX PL系列 | | 大小 （W*L*D/mm） | 610*610*150T （接受非標(biāo)定做） | | 效率（%） | < 90 | | 速度 （m/s） | ~ 2.5 | | 差壓（mmAq） | ~ 15.0 | | 媒介 | IER, IAC, IA,吸附劑 | | 框架 | AL, GI, SUS | | 適用對象 | FFU, EFU, MAU, RAU | | 目標(biāo)氣體 | NH3, tAcid, VOCs |
2．● CAFILDEX® TY系列 
| 規(guī)格 | CAFILDEX TY系列 | | 大小 （W*L*D/mm） | 610*610*450T （接受非標(biāo)定做） | | 效率（%） | < 90 | | 速度 （m/s） | ~ 2.5 | | 差壓（mmAq） | ~ 15.0 | | 媒介 | IER, IAC, IA,吸附劑 | | 框架 | AL, GI, SUS | | 適用對象 | MAU, RAU | | 目標(biāo)氣體 | NH3, tAcid, VOCs |
3．● CAFILDEX® CE 系列 
| 規(guī)格 | CAFILDEX® CE系列 | | 大小 （W*L*D/mm） | 572*1167*55T （接受非標(biāo)定做） | | 效率（%） | < 90 | | 速度 （m/s） | ~ 0.45 | | 差壓（mmAq） | ~ 3.0 | | 媒介 | IER, IAC, IA, 吸附劑 | | 框架 | AL, GI, SUS | | 適用對象 | FFU, EFU, MAU, RAU | | 目標(biāo)氣體 | NH3, tAcid, VOCs |
4．● CAFILDEX® BT 系列 
| 規(guī)格 | CAFILDEX BT系列 | | 大小 （W*L*D/mm） | 640*640*470 （接受非標(biāo)定做） | | 效率（%） | < 90 | | 速度 （m/s） | ~ 0.45 | | 差壓（mmAq） | ~ 3.0 | | 媒介 | IER, IAC, IA,吸附劑 | | 框架 | AL, GI, SUS | | 適用對象 | FFU | | 目標(biāo)氣體 | NH3, tAcid, VOCs |
5 ● CAFILDEX® SW系列 
| 規(guī)格 | CAFILDEX SW系列 | | 大小 （W*L*D/mm） | 610*610*200T （接受非標(biāo)定做） | | 效率 （%） | < 90 | | 速度 （m/s） | ~ 2.5 | | 差壓（mmAq） | ~ 15 | | 媒介 | IER, IAC, IA,吸附劑 | | 框架 | AL, GI, SUS | | 適用對象 | FFU, EFU, MAU, RAU | | 目標(biāo)氣體 | NH3, tAcid, VOCs | |
